一、財團法人國家實驗研究院台灣半導體研究中心為提供更優質服務，進行新舊電子束直寫系統汰換，公告事項如下：
二、
（一）新購置可變形束電子束光罩製作曝光機一台，將於114年第2季到廠安裝，以接續原有CF-L02W Leica e-beam電子束直寫系統服務，提供更好的服務品質。
（二）配合新舊設備整建時程，CF-L02W Leica e-beam電子束直寫系統114年2月24日停止服務，進行設備下架；新設備預計於114年8月25日進行試運轉服務，敬請使用者提早規劃。
三、如有其他問題請洽負責工程師鄭旭君先生，電話：03-5773693分機7644。